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阶差规 516 系列
基本信息
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• 阶差规是一种高度上有 4 个微小台阶的量规，由 5 个高精度钢制或者陶瓷量块组成。
• 每个阶差是由相邻台阶中心的高度差定义的，使用分辨力为 0.01µm 的干涉仪的测量精度公差为 ±0.20µm 。
• 可选用钢制型或陶瓷型。
• 高度差由相邻台阶的中心测得。
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定制量块
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方形量块附件 SGA-M25